65 nm designa el proceso de fabricación de semiconductores que sucede al proceso de fabricación CMOS de 90 nm . Los primeros procesadores con esta tecnología aparecieron en el mercado en 2006.
Los procesadores Xenon de la generación "Falcon" están grabados en tecnología de 65 nm, así como los núcleos POWER6 e Itanium 4 lanzados en 2008.
Según la hoja de ruta de ITRS , el sucesor del 65 nm es la tecnología de 45 nm .